它適用于真空度在1333～2Pa規模的真空熱處理爐，如預抽低真空井式爐。大多以油封式旋轉機械泵為主泵的體系。
中真空體系
它適用于真空度在1.333～3×10Pa規模的真空熱處理爐。中真空體系在真空熱處理爐中使用廣泛，其一般有兩級真空泵機組組成。初級泵多選用旋轉機械泵或滑閥式機械泵，主泵為機械增壓泵（羅茨泵）或油增壓泵。
高真空體系
它適用于真空度在1.333×1O～6。6×10Pa規模的真空熱處理爐，如真空退火爐、真空釬焊爐。其一般有三級真空泵機組組成，主泵一般選用油分散泵、離子泵，初級泵大都也是選用旋轉機械泵或滑閥式機械泵，前級泵為機械增壓泵（羅茨泵）或油增壓泵。
真空體系的基本參數
真空熱處理爐的真空體系主要參數有、作業真空度、抽氣時間、抽氣速率、漏氣率（壓升率）。
真空度真空爐在空爐、冷態下所能達到的高真空度稱為真空度。真空度是查核真空爐各零部件的加工和安裝質量、真空機組的抽氣才能與真空、爐體的密封與漏氣和真空衛生情況的重要指標。一般，真空爐的真空度應低于主泵一個數量級左右。
真空爐的修理
真空氣氛爐加熱功率的復校跟著爐子使用時間的延長，隔熱屏的熱阻變小，電熱元件揮發而電阻變大等因素的影響，應適當添加功率。在生產實際作業中，一般用經驗計 算法確認功率，圖4—15所示為石墨氈或耐火纖維氈隔熱屏真空爐的容積與加熱功率的聯系曲線圖。按該圖能夠確認1300。C的真空爐加熱功率。若為金屬隔 熱屏的真空爐，則查得的加熱功率需添加30％左右。
隔熱屏的修理隔熱屏在真空爐中起隔熱、保溫效果，有時也作為固定加熱器的結構根底。隔熱屏結構一般有四種類型：全金屬隔熱屏、夾層式隔熱屏、石墨氈隔熱屏和混合氈隔熱屏。不同的隔熱屏，在修理時應掌握其要點。
全金屬隔熱屏一般在靠近電熱元件的1—2層選用鉬、鎢資料，外面幾層可用不銹鋼資料，厚度應盡量薄些（中、小型爐一般為o．2。0．5mm。大型爐為 o．5～1．Omm）；隔熱屏在安裝前需將外表加工成為光潔狀況，以下降黑度，增強反射效果。1300。C爐子的隔熱屏層數一般為5～6層，層間間隔為 5～10mm。幾層輻射板連接的接觸面積不宜太大，以減少熱短路。隔熱屏應有脹縮量，并做成可拆式的，便于下次修理。