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真空燒結爐是在抽真空后充氫氣維護狀態下，使用中頻感應加熱的原理，使處于線圈內的鎢坩堝發生高溫，經過熱輻射傳導到工作上，適用于科研、軍工單位對難熔合金如鎢、鉬及其合金的粉末成型燒結。又分為臥式真空燒結爐和立式真空燒結爐兩種，安裝電爐的場所應符合真空衛生的要求，周圍的空氣應清潔和干燥，并有良好的通風條件，工作場地不易揚起塵埃等。

真空燒結爐首要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體維護燒結及常規燒結，是半導體用設備系列中新穎的工藝配備，它設計構思新穎，操作便利，結構緊湊，在臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。